Тонкопленочные датчики давления на основе микроэлектромеханических систем для ракетной авиационной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.13.05 ; 05.11.14 / Белозубов Евгений Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//85289(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Белозубов, Е. М.
Опубликовано: Пенза , 2010
Физические характеристики: 38 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000494918
005 20100527162700.0
100 # # $a 20100429d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Тонкопленочные датчики давления на основе микроэлектромеханических систем для ракетной авиационной техники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 05.13.05 ; 05.11.14  $f Белозубов Евгений Михайлович  $g [ГОУ ВПО "Пензенский государственный университет", ОАО "Научно-исследовательский институт физических измерений" (г. Пенза)] 
210 # # $a Пенза  $d 2010 
215 # # $a 38 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 32—38 (71 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33306  $a ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18296  $a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27327  $a РАКЕТНАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1467  $a АВИАЦИОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.13.05  $2 oksvnk 
686 # # $a 05.11.14  $2 oksvnk 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.07  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.47.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.49.29  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-680186  $a Белозубов  $b Е. М.  $g Евгений Михайлович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100429  $g psbo