Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким є, полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Рогожин Александр Евгеньевич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Рогожин, А. Е. |
| Publié: | Москва , 2009 |
| Description matérielle: |
24 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||