Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким є, полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Рогожин Александр Евгеньевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Рогожин, А. Е. |
| Published: | Москва , 2009 |
| Physical Description: |
24 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||