Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким є, полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Рогожин Александр Евгеньевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Рогожин, А. Е. |
| Апублікавана: | Москва , 2009 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
24 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||