|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000305557 |
005 |
20090505151939.0 |
100 |
# |
# |
$a 20090317d2009 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Бритков Олег Михайлович
$g [ГОУ ВПО "Московский государственный институт электронной техники (технический университет)"]
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2009
|
215 |
# |
# |
$a 33 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 32—33 (14 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18296
$a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar82824
$a ГЕРМЕТИЧНОСТЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14454
$a КОНСТРУКТИВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18108
$a РАСЧЕТА МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 47.14.07
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 59.14.19
$2 rugasnti
$v 6
|
700 |
# |
1 |
$a Бритков
$b О. М.
$g Олег Михайлович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20090317
$g psbo
|