Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Бритков Олег Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//56563(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бритков, О. М.
Опубликовано: Москва , 2009
Физические характеристики: 33 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000305557
005 20090505151939.0
100 # # $a 20090317d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Бритков Олег Михайлович  $g [ГОУ ВПО "Московский государственный институт электронной техники (технический университет)"] 
210 # # $a Москва  $d 2009 
215 # # $a 33 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 32—33 (14 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18296  $a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82824  $a ГЕРМЕТИЧНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33866  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14454  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.14.19  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $a Бритков  $b О. М.  $g Олег Михайлович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20090317  $g psbo