Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.07 / Новиков Александр Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//46544(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Новиков, А. А.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2008
Физические характеристики: 27 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000240601
005 20081126141801.0
100 # # $a 20081112d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.11.07  $f Новиков Александр Александрович  $g Министерство образования и науки Российской Федерации, Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2008 
215 # # $a 27 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 26-27 (13 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21873  $a ОПТОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23914  $a ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60422  $a ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar57360  $a СИЛИКАТНОЕ СТЕКЛО  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15206  $a КРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12180  $a ИОННЫЕ ПУЧКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39098  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35855  $a ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.11.07  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.33.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.41  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $a Новиков  $b А. А.  $g Александр Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20081112  $g psbo