|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000204089 |
| 005 |
20080912102858.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20080731d2008 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.01
$f Смирнов Владимир Александрович
$g Технологический институт Южного федерального университета в г. Таганроге
|
| 210 |
# |
# |
$a Таганрог
$d 2008
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22―23 (16 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83379
$a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2638821
$a АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 20.19.22
$2 rugasnti
$v 5
|
| 700 |
# |
1 |
$a Смирнов
$b В. А.
$g Владимир Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080731
$g psbo
|
