Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Аваков Сергей Мирзоевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//32670(039), 2Н//32671(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Аваков, С. М. (род. 1955)
Опубликовано: Минск , 2007
Физические характеристики: 42 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
ТОПОЛОГИЯ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ФОТОШАБЛОНЫ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000153573
005 20220412164409.0
100 # # $a 20080305d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d eng  $d rus  $d bel 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 05.27.06  $f Аваков Сергей Мирзоевич  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2007 
215 # # $a 42 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме на русском, белорусском, английском языках 
311 # # $a В фонде имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 33-39 (60 назв.) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000202559 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23677  $a ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34220  $a ТОПОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85262  $a ФОТОШАБЛОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1585  $a АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.14/.16-027.3:658.562(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.81  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.43  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-369599  $a Аваков  $b С. М.  $g Сергей Мирзоевич  $c доктор технических наук, электроника  $f род. 1955 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080305  $g psbo 
830 # # $a 03.04.2008 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0000153573&fileID=1074668 

Схожие документы