Разработка конструкции и технологии микроэлектронных приборов точного измерения параметров газовых сред: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Локтев Дмитрий Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//30258(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Локтев, Д. В.
Опубликовано: Москва , 2007
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000127433
005 20080201135055.0
100 # # $a 20071219d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка конструкции и технологии микроэлектронных приборов точного измерения параметров газовых сред  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Локтев Дмитрий Викторович  $g [Московский государственный институт электронной техники] 
210 # # $a Москва  $d 2007 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21-22 (11 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6762  $a ГАЗОВЫЕ СРЕДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33608  $a ТЕРМОРЕЗИСТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2189779  $a ПЬЕЗОСЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2023  $a АКСЕЛЕРОМЕТРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 59.37.29  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $a Локтев  $b Д. В.  $g Дмитрий Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071219  $g psbo