Исследование процесса изготовления кантилевера с улучшенными характеристиками для сканирующей зондовой микроскопии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Алексейчук Андрей Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//29073(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Алексейчук, А. В.
Опубликовано: Москва , 2007
Физические характеристики: 19 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000122638
005 20080121161251.0
100 # # $a 20071207d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование процесса изготовления кантилевера с улучшенными характеристиками для сканирующей зондовой микроскопии  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Алексейчук Андрей Владимирович  $g [Московский государственный институт электронной техники (технический университет)] 
210 # # $a Москва  $d 2007 
215 # # $a 19 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 18-19 (10 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar76888  $a СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2648827  $a КАНТИЛЕВЕРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33930  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МАРШРУТЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.35.43  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $a Алексейчук  $b А. В.  $g Андрей Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071207  $g psbo