|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000122164 |
| 005 |
20220412164347.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20071206d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e 05.27.01
$f Руденко Константин Васильевич
$g [Физико-Технологический институт Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2007
|
| 215 |
# |
# |
$a 45 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 41-45
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23657
$a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36833
$a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar61933
$a ПЛАЗМЕННЫЕ РЕАКТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2510153
$a ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.49
$v 5
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2760783
$a Руденко
$b К. В.
$g Константин Васильевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071206
$g psbo
|
