|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000055944 |
| 005 |
20070618135032.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070524d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Научные основы создания ресурсосберегающих технологий очистки поверхности полупроводниковых структур на базе электрохимического синтеза и рекуперации растворов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e 05.27.06
$f Ковалев Анатолий Андреевич
$g [Московский государственный институт электронной техники]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2007
|
| 215 |
# |
# |
$a 49 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 43-49 (48 назв.)
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27159
$a РАДИОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24596
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39302
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27951
$a РЕКУПЕРАТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar28241
$a РЕСУРСОСБЕРЕГАЮЩИЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381804
$a ХИМИЧЕСКАЯ ОЧИСТКА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 5
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2660305
$a Ковалев
$b А. А.
$g Анатолий Андреевич
$c доктор технических наук, электроника
$f род. 1961
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070524
$g psbo
|
