|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000035296 |
| 005 |
20070615153330.1 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070328d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.02
$f Соловьев Андрей Александрович
$g Российская академия наук, Сибирское отделение, Институт сильноточной электроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2007
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20-21 (11 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24279
$a ПОКРЫТИЯ (материалы)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34169
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38838
$a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОЛЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar16855
$a МАГНИТНЫЕ ПОЛЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4867
$a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.29.37
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.02
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-146835
$a Соловьев
$b А. А.
$g Андрей Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070328
$g psbo
|
