|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000030486 |
| 005 |
20070615153305.5 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070316d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Залкинд Яков Григорьевич
$g [Московский государственный институт электронной техники]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 28 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 27-28 (6 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35855
$a ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26388
$a ПРОЧНОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18296
$a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2289608
$a НАНОМАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a por-Si
|
| 610 |
0 |
# |
$a нанопористый кремний
|
| 610 |
0 |
# |
$a нанапорысты крэмній
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.03.05
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.99
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.47
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-145038
$a Залкинд
$b Я. Г.
$g Яков Григорьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070316
$g psbo
|
