|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
001 |
BY-CNB-br2819991 |
005 |
20220412152104.0 |
010 |
# |
# |
$a 978-985-08-1764-8
$b в переплете
|
100 |
# |
# |
$a 20141104d2014 k y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике
$f [В. А. Емельянов и др.]
$g Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения
|
210 |
# |
# |
$a Минск
$c Беларуская навука
$d 2014
|
215 |
# |
# |
$a 410, [1] с.
$c ил., табл.
$d 21 см
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 382―407 (385 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 120 экз.
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18382
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105390
$a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar59840
$a КОМПОЗИЦИОННЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23657
$a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29176
$a СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18294
$a МИКРОСБОРКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1620584
$a МИКРОСВАРКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2703579
$a ОЦЕНКА КАЧЕСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12334
$a ИСПЫТАНИЯ
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793
$v 4
$z rus
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.717
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.15
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 55.22.29
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 55.18.19
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 81.09.03
$v 6
$2 rugasnti
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502537
$a Емельянов
$b В. А.
$g Виктор Андреевич
$c доктор технических наук
$f род. 1948
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-177137
$a Рогачев
$b А. В.
$g Александр Владимирович
$c доктор химических наук
$c кандидат технических наук
$f род. 1949
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-1009578
$a Федосенко
$b Н. Н.
$g Николай Николаевич
$c кандидат технических наук
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar571815
$a Пилипцов
$b Д. Г.
$g Дмитрий Геннадьевич
$c кандидат технических наук
$c физика
$c материаловедение
$f род. 1981
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2492220
$a Объединенный институт машиностроения
$c Минск
$4 475
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0005
$c 20141114
$g psbo
|
801 |
# |
2 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170927
$g RCR
|