Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике / [В. А. Емельянов и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//475258(039), 1Н//475259(039), ##1Н//314242(055),
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : Беларуская навука , 2014
Физические характеристики: 410, [1] с. : ил., табл. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-CNB-br2819991
005 20220412152104.0
010 # # $a 978-985-08-1764-8  $b в переплете 
100 # # $a 20141104d2014 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике  $f [В. А. Емельянов и др.]  $g Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения 
210 # # $a Минск  $c Беларуская навука  $d 2014 
215 # # $a 410, [1] с.  $c ил., табл.  $d 21 см 
320 # # $a Библиография: с. 382―407 (385 назв.) 
345 # # $9 120 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18382  $a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105390  $a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4914454  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar59840  $a КОМПОЗИЦИОННЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23657  $a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29176  $a СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18294  $a МИКРОСБОРКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1620584  $a МИКРОСВАРКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2703579  $a ОЦЕНКА КАЧЕСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12334  $a ИСПЫТАНИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.793  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.717  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.81  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.18.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.09.03  $v 6  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2502537  $a Емельянов  $b В. А.  $g Виктор Андреевич  $c доктор технических наук  $f род. 1948 
701 # 1 $3 BY-SEK-177137  $a Рогачев  $b А. В.  $g Александр Владимирович  $c доктор химических наук  $c кандидат технических наук  $f род. 1949 
701 # 1 $3 BY-SEK-1009578  $a Федосенко  $b Н. Н.  $g Николай Николаевич  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-RLST-ar571815  $a Пилипцов  $b Д. Г.  $g Дмитрий Геннадьевич  $c кандидат технических наук  $c физика  $c материаловедение  $f род. 1981 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2492220  $a Объединенный институт машиностроения  $c Минск  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0005  $c 20141114  $g psbo 
801 # 2 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170927  $g RCR