
Специальные главы технологии полупроводников и диэлектриков: (Учеб. пособие)
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
Автор: | Дементьев, Ю. С. |
---|---|
Другие авторы/ответственные: | Соколов, Е. Б. |
Вид документа: | |
Опубликовано: | М. , 1978 |
Язык: | Русский |
00000nam1a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr34518070000 | ||
005 | 20070801162822.0 | ||
100 | # | # | $a 20070801d1978 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Специальные главы технологии полупроводников и диэлектриков $e (Учеб. пособие) |
210 | # | # | $a М. $d 1978 |
300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электронной техники |
700 | # | 1 | $a Дементьев $b Ю. С. |
701 | # | 1 | $a Соколов $b Е. Б. |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070801 $g psbo |