Микролитография: Принципы, методы, материалы : В 2 ч. / Перевод с англ. под ред. Р. Х. Тимерова; Предисл. К. А. Валиева
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
| Автор: | Моро, У. |
|---|---|
| Вид документа: | |
| Опубликовано: | М. : Мир , 1990- |
| Язык: | Русский |
| 00000nam1a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16146940000 | ||
| 005 | 20070411125627.0 | ||
| 010 | # | # | $a 5-03-001372-5 |
| 100 | # | # | $a 20070411f1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Микролитография $e Принципы, методы, материалы : В 2 ч. $f Перевод с англ. под ред. Р. Х. Тимерова; Предисл. К. А. Валиева |
| 210 | # | # | $a М. $c Мир $d 1990- |
| 215 | # | # | $d 22 см |
| 300 | # | # | $a Перевод изд.: Semiconductor lithography / Wayne M. Moreau (New York; London) |
| 700 | # | 1 | $a Моро $b У. $g Уэйн |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070411 $g psbo |