Технология тонких пленок: Курс лекций / С. А. Медведев

Сохранено в:
Автор: Медведев, С. А.
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : МИСИС , 1977
Язык: Русский
Предмет:
00000nam1a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr15504100000
005 20070402131924.0
021 # # $a RU  $b [77-94350; 94356] 
100 # # $a 20070402d1977 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Технология тонких пленок  $e Курс лекций  $f С. А. Медведев 
210 # # $a М.  $c МИСИС  $d 1977 
215 # # $d 20 см 
610 0 # $a Полупроводниковые пленки - Получение 
675 # # $a 621.315.592-416.002(075.8) 
700 # 1 $a Медведев  $b С. А.  $g Сергей Александрович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070402  $g psbo