Технология тонких пленок: Курс лекций / С. А. Медведев
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
Автор: | Медведев, С. А. |
---|---|
Вид документа: | |
Опубликовано: | М. : МИСИС , 1977 |
Язык: | Русский |
Предмет: |
00000nam1a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr15504100000 | ||
005 | 20070402131924.0 | ||
021 | # | # | $a RU $b [77-94350; 94356] |
100 | # | # | $a 20070402d1977 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Технология тонких пленок $e Курс лекций $f С. А. Медведев |
210 | # | # | $a М. $c МИСИС $d 1977 |
215 | # | # | $d 20 см |
610 | 0 | # | $a Полупроводниковые пленки - Получение |
675 | # | # | $a 621.315.592-416.002(075.8) |
700 | # | 1 | $a Медведев $b С. А. $g Сергей Александрович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070402 $g psbo |