Очистка и выращивание монокристаллов кристаллизацией из расплава, получение эпитаксиальных пленок, ионная имплантация: Лаб. практикум по курсу "Технология и методы исслед. структур полупроводниковых материалов": Учеб. пособие для студентов / Н. К. Морозова, В. А. Дмитриев