Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии: [монография]: в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.]

Сохранено в:
Другие авторы/ответственные: Наливайко, О. Ю., Солодуха, В. А., Пилипенко, В. А. (род. 1949), Колос, В. В., Белоус, А. И. (род. 1951), Челядинский, А. Р. (род. 1945), Гранько, С. В. (род. 1973), Комаров, Ф. Ф. (род. 1945), Голосов, Д. А. (род. 1971), Нелаев, В. В. (род. 1941), Керенцев, А. Ф., Чигирь, Г. Г., Бахматова, Н. А. (род. 1962), Семченко, А. В. (род. 1972), Липинская, Т. И., Васильев, Ю. Б., Архипова, Л. И., Медведева, А. Б., Соловьев, В. Я., Стемпицкий, Р. В., Петлицкий, А. Н., Любич, Т. М., Турцевич, А. С. (род. 1958)
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : Интегралполиграф , 2013
Язык: Русский
00000cam1a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0001021167
005 20140221091950.0
010 # # $a 978-985-6845-43-0  $b в переплете 
100 # # $a 20140113d2013 |||y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a ||||||||00|yy 
200 1 # $a Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии  $e [монография]  $e в 3 т.  $f [О. Ю. Наливайко и др.]  $g под редакцией А. С. Турцевича 
210 # # $a Минск  $c Интегралполиграф  $d 2013 
215 # # $d 21 см 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2502673  $a Наливайко  $b О. Ю.  $g Олег Юрьевич  $c кандидат технических наук, электроника 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar1881914  $a Солодуха  $b В. А.  $g Виталий Александрович  $c доктор технических наук, электроника 
701 # 1 $3 BY-SEK-241260  $a Пилипенко  $b В. А.  $g Владимир Александрович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar5323796  $a Колос  $b В. В.  $g Владимир Владимирович  $c кандидат физико-математических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-182012  $a Белоус  $b А. И.  $g Анатолий Иванович  $c доктор технических наук  $f род. 1951 
701 # 1 $3 BY-SEK-191851  $a Челядинский  $b А. Р.  $g Алексей Романович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1945 
701 # 1 $3 BY-SEK-587361  $a Гранько  $b С. В.  $g Сергей Владимирович  $c кандидат технических наук  $c микроэлектроника  $f род. 1973 
701 # 1 $3 BY-SEK-186602  $a Комаров  $b Ф. Ф.  $g Фадей Фадеевич  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1945 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2637559  $a Голосов  $b Д. А.  $g Дмитрий Анатольевич  $c кандидат технических наук  $f род. 1971 
701 # 1 $3 BY-SEK-295377  $a Нелаев  $b В. В.  $g Владислав Викторович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1941 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar1881280  $a Керенцев  $b А. Ф.  $g Анатолий Федорович  $c электроника 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar3167023  $a Чигирь  $b Г. Г.  $g Григорий Григорьевич  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar7102667  $a Бахматова  $b Н. А.  $g Надежда Андреевна  $f род. 1962 
701 # 1 $3 BY-SEK-496371  $a Семченко  $b А. В.  $g Алина Валентиновна  $c кандидат физико-математических наук, физик  $f род. 1972 
701 # 1 $a Липинская  $b Т. И. 
701 # 1 $a Васильев  $b Ю. Б. 
701 # 1 $a Архипова  $b Л. И. 
701 # 1 $a Медведева  $b А. Б. 
701 # 1 $a Соловьев  $b В. Я. 
701 # 1 $a Стемпицкий  $b Р. В. 
701 # 1 $a Петлицкий  $b А. Н. 
701 # 1 $a Любич  $b Т. М. 
702 # 1 $3 BY-NLB-ar2502584  $a Турцевич  $b А. С.  $g Аркадий Степанович  $c доктор технических наук  $f род. 1958  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140113  $g psbo